セイコーエプソンのジャイロセンサの特長

セイコーエプソンのジャイロセンサの特長

ここでは、ジャイロセンサのチェックポイントに書かれた、高安定を見極めるポイントごとに、エプソンのジャイロセンサの特性をお話します。
1. ノイズレベルが低いこと
2. 温度変化に対する安定度
2-1. 0点温度特性が安定していること
2-2. 感度温度特性が安定していること
3. 振動や衝撃などによる影響が少ない
3-1. 角速度以外の他の振動に影響されにくい
3-2. 衝撃に強い


1. ノイズレベル

当社代表製品のノイズ密度を測定したデータです。 ダブルT型の構造としたことで、お客様使用帯域内で、0.005(°・s-1)/√Hzの低ノイズを実現しております。

2. 温度変化に対する安定度

2-1. 0点温度特性が安定していること

当社代表製品の出力(0点)変化量の温度特性を測定したデータです。水晶材料の良さをダブルT構造によってさらに引き出すことで、優れた0点安定性を実現しております。

2-2. 感度温度特性が安定していること

当社代表製品の感度誤差の温度特性を測定したデータです。 水晶の優れた結晶面で駆動系と検出系を構成できるため、優れた感度安定性を実現しております。

3. 振動や衝撃などによる影響が少ない

3-1. 角速度以外の他の振動に影響されにくい

当社代表製品に20~2000Hzの周波数の振動(X,Y,Z方向)を加えた時の出力(0点)変化量のデータです。 外部振動に対する優れた安定性を実現しております。

3-2. 衝撃に強い

当社代表製品に100G相当の衝撃(X,Y,Z方向)を加えたときの出力(0点)変化量のデータです。 外部からの衝撃に対する優れた安定性を実現しております。

水晶素子の構造上の工夫により、エプソンのジャイロセンサは衝撃に対し非常に強い製品となっています。

次の図のような過酷な落下限界試験を試みました。
2mの高さからコンクリートの上に10回落下させても、感度も0点値も大きく変化してしまうことはほとんどありませんでした。

エプソンのジャイロセンサは、水晶を素材にしたダブルT型構造の素子と、独自のPKG技術などの工夫で、以上の5つの高安定のポイントを実現しました。
これにより、お客様のアプリケーションの特性向上に貢献するとともに、一般的なジャイロセンサに比べて、システムでのキャリブレーションの回数を減らすことができます。


エプソンのジャイロセンサは水晶を素材にしたダブルT型構造の振動ジャイロセンサです。

  素材 構造例
圧電振動子 水晶 Double-T structure音叉型H型音叉型
セラミックス 三角柱円柱
シリコン振動子 シリコン Si MEMS
※構造は各社各様になります。

単結晶の水晶を素材にしたことで、

  • 値が高く安定した振動が得られるため、高感度が得られる。
  • 材料が安定なため、経時変化が小さい。
  • 材料が均一なため、加工再現性に優れ、フォトリソ加工時の精度が良好。
  • ヤング率が温度変化に対して安定なため、温度変化の小さい振動系が実現可能。

ダブルT型の構造としたことで、

  • コリオリの力を無駄なく利用できるため、高感度が得られる。
  • 水晶の優れた結晶面で構成できるため、温度特性が良い。
  • 駆動系と検出系を分離できるため、モレ振動が小さく高SNが実現可能。
  • 対称性が良いため、振動、衝撃に強い。

この素材と構造により、エプソンのジャイロセンサは、上記の高安定の5つのポイントで優れた特性を持ちます。



Page Top