フォトAT
フォトリソ加工技術を用いて小型化したAT振動子/発振器
従来の機械加工ではいったん水晶を個片にしてからベベル加工を施します。そのため、水晶チップ毎の形状にばらつきがあります。一方フォトリソ加工ではウェハ単位で微細加工を施します。そのため形状のばらつきを比較的小さく抑えることができます。形状のばらつきは、水晶デバイスの特性ばらつきとなります。
フォトリソ加工技術により、水晶チップの形状均一化が可能となり、超小型の水晶振動子でも、機械加工（左）に比べて、ばらつきの少ない優れた温度特性を実現します（右）。
2.0×1.6 mmサイズAT振動子（26 MHz）の周波数温度特性
AT振動子/発振器の小型化により、携帯機器の小型化・多機能化に貢献します。
フォトAT振動子/発振器の代表製品
