小型化、高稳定性的秘密

Epson的晶体角速度传感器的特长~实现了小型化和高稳定性~

以受温度变化的影响小为特征的「水晶」为原料。

Epson独自的「双T型构造」

没有旋转运动时

驱动臂通过相对振动,互相消除彼此的振动,所以中央的检测臂处于静止状态。
检测臂处于静止状态,因此可以正确地测试出处于没有旋转运动的状态。

加入旋转运动时…

通过加入旋转运动,由于地球偏转力(克里奥利力),驱动臂会产生纵向振动。
由于驱动臂的纵向振动,中央固定部弯曲,检测臂产生检测振动。

原来这个形状才是关键呀!
但是,您知道怎么样才能把水晶加工成这么细巧的形状呢？

Gyro-sensor chip

「QMEMS」是指具有高稳定、高精度等优越特征的水晶材料「QUARTZ」和「MEMS」（精微加工技术）组合成的造词。
应用了在音叉型晶体单元的生产中所拥有的30年以上的实际经验的「光刻」,对水晶材料施加了三维微细加工。
幸运拥有了QMEMS技术,才实现了小型、高稳定性的晶体角速度传感器。