小型化、高稳定性的秘密

EPSON陀螺仪产品
汽车应用陀螺仪
标准陀螺仪

Epson的晶体角速度传感器的特长~实现了小型化和高稳定性~

秘密1

以受温度变化的影响小为特征的「水晶」为原料。

秘密2

Epson独自的「双T型构造」

没有旋转运动时

驱动臂通过相对振动,互相消除彼此的振动,所以中央的检测臂处于静止状态。
检测臂处于静止状态,因此可以正确地测试出处于没有旋转运动的状态。

加入旋转运动时…

通过加入旋转运动,由于地球偏转力(克里奥利力),驱动臂会产生纵向振动。
由于驱动臂的纵向振动,中央固定部弯曲,检测臂产生检测振动。


<双T型构造的特长>

  1. 干扰少

  2. 能增大元件的灵敏度

  3. 受温度变化的影响小


原来这个形状才是关键呀!
但是,您知道怎么样才能把水晶加工成这么细巧的形状呢?


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使双T型构造的小型化变为可能的是
Epson的关键技术「QMEMS」。


Gyro-sensor chip

「QMEMS」是指具有高稳定、高精度等优越特征的水晶材料「QUARTZ」和「MEMS」(精微加工技术)组合成的造词。
应用了在音叉型晶体单元的生产中所拥有的30年以上的实际经验的「光刻」,对水晶材料施加了三维微细加工。
幸运拥有了QMEMS技术,才实现了小型、高稳定性的晶体角速度传感器。

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